龍門工業顯微檢測
譜華森生物科技LMM龍門顯微檢測設備，專門針對大尺寸晶圓、PCB板、工業板材等材料表面微觀缺陷設計的大型龍門結構三維掃描裝置，具備大范圍對焦跟蹤掃描、落射/透射偏光成像等功能，采用龍門雙驅結構實現高精度掃描，支持超大圖像拼接預覽。
產品特性：
| 項目 | 參數 |
| 行程(mm) | 最大支持500mm |
| 電機類型 | 伺服/直線電機 |
| 重復定位精度(μm) | ±1 |
| 最大速度(mm/s) | 50 |
| 物鏡個數 | 5個，最高支持50倍物鏡 |
| 掃描速度 | 最快支持70幀/秒 |
| 圖像處理 | 支持超大圖像拼接，快速預覽 |
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